您有了解過(guò)雙頻激光干涉儀嗎?接下來(lái)上海泉田機(jī)電有限公司小編將與您分享雙頻激光干涉儀,進(jìn)來(lái)看看吧!
隨著20世紀(jì)60年代初激光的出現(xiàn),幾何量計(jì)量技術(shù)的發(fā)展步入了嶄新的時(shí)期。雙頻激光干涉儀正是利用激光具有頻率穩(wěn)定、單色性好等優(yōu)點(diǎn),在幾何量計(jì)量領(lǐng)域發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。雙頻激光干涉儀具有精度高、應(yīng)用范圍廣、環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)、實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高等一系列無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì),成為幾何量計(jì)量活動(dòng)的生力軍。相比于激光干涉儀,現(xiàn)代雙頻激光干涉儀擺脫了計(jì)量室的束縛,在越來(lái)越廣闊的工程測(cè)量領(lǐng)域大顯身手。因此,雙頻激光干涉的發(fā)明對(duì)計(jì)量事業(yè)的發(fā)展乃至整個(gè)科學(xué)事業(yè)的發(fā)展有著舉足輕重的作用。本文根據(jù)雙頻激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域的新發(fā)展,對(duì)雙頻激光干涉儀的應(yīng)用進(jìn)行了簡(jiǎn)要的總結(jié)。
雙頻激光干涉儀的發(fā)明把幾何量計(jì)量發(fā)展推向了又一個(gè)高峰,雙頻激光干涉儀是目前精度較高、量程較大的長(zhǎng)度計(jì)量?jī)x器,以其良好的性能、在很多場(chǎng)合,特別是在大長(zhǎng)度與大位移的精密測(cè)量中得到普遍應(yīng)用。就長(zhǎng)度計(jì)量而言,通常將200m以上的測(cè)量稱(chēng)為距離測(cè)量(Distance Measurement),3m以下的稱(chēng)為一般長(zhǎng)度測(cè)量,3~200m之間的測(cè)量稱(chēng)為大尺寸測(cè)量(Large Dimension Measurement)[1]。雙頻激光干涉儀在一般長(zhǎng)度精密測(cè)量中多有使用。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等,也可以在普通車(chē)間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定,既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,也可以用于特殊場(chǎng)合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。不僅在單純的長(zhǎng)度計(jì)量領(lǐng)域,在其他工程技術(shù)領(lǐng)域,雙頻激光干涉儀的應(yīng)用也越來(lái)越普遍,不乏一些很有創(chuàng)見(jiàn)的應(yīng)用。關(guān)于雙頻激光干涉儀在解決某個(gè)工程測(cè)量問(wèn)題的研究已經(jīng)有非常多的成功案例,以雙頻激光干涉儀為關(guān)鍵詞的學(xué)術(shù)論文不勝枚舉,對(duì)雙頻激光干涉儀的應(yīng)用,國(guó)內(nèi)外很多學(xué)者常常有很獨(dú)到的理解。雙頻激光干涉儀的應(yīng)用也不斷發(fā)展更新,所以,有必要對(duì)它的應(yīng)用做一些有益的總結(jié),使人們更好的理解雙頻激光干涉儀的應(yīng)用,為推動(dòng)生產(chǎn)發(fā)展提供一些理論依據(jù)。
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